产品性能
低频电源提供600W、1000W功率输出，频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。
应用对象
该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体领域。应用对象包括：刻蚀、PECVD、PVD等系统
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